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长三角携手突破!国际首创8英寸VB法氧化镓晶体制备技术

2025-12-29来源:快讯编辑:瑞雪

在第四代半导体材料领域,一项突破性成果引发关注。中国科学院上海光机所联合杭州富加镓业科技有限公司,在国际上首次运用垂直布里奇曼法(VB法)成功制备出8英寸氧化镓晶体。这一成果得益于上海市科委第四代半导体战略前沿专项的支持。

氧化镓作为第四代半导体的代表性材料,具备禁带宽度大、击穿场强高的特性,在超高压功率器件领域有着不可替代的重要应用价值。上海光机所是国内较早投身氧化镓晶体研究的科研单位,在VB法研究方面,与富加镓业紧密合作,大力提升关键装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计这三大核心技术。

回顾过往,该研究团队成果斐然。2024年7月,在国内率先实现3英寸氧化镓晶体制备;同年12月,成功制备出4英寸晶体;2025年9月,再次取得突破,在国内首次实现6英寸晶体制备;直至2025年12月,刷新了国际VB法制备氧化镓晶体的最大尺寸纪录。

与其他制备方法相比,VB法在氧化镓晶体制备方面优势显著。其生长过程无需使用铱金,大幅降低了生长成本;温度场均匀、温度梯度小,更有利于生长出大尺寸、高质量的氧化镓晶体;能够生长柱状晶体,有效提高了材料制备效率;而且生长过程稳定,非常适合自动化、规模化生产,是实现大规模产业化的理想路径。

目前,上海光机所与富加镓业正携手下游用户,加快开展器件端对材料端的应用验证工作,持续优化氧化镓材料及器件性能,全力推动氧化镓产业化应用进程。

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