在当前全球芯片制造业中,光刻技术依然占据着举足轻重的地位。光刻机的性能直接决定了芯片制造的精度和效率,而荷兰ASML公司凭借其在EUV(极紫外光刻)和浸润式DUV(深紫外光刻)光刻机领域的垄断地位,对全球晶圆厂产生了深远影响。
ASML的光刻机,特别是EUV光刻机,成为了全球芯片制造领域的“香饽饽”。然而,美国对ASML光刻机的销售实施严格控制,与ASML形成联盟,从而在一定程度上掌控了全球芯片制造产业,尤其是先进芯片制造领域。这种控制,使得许多国家和地区在获取先进光刻机方面面临重重困难。
中国作为全球芯片制造的重要一环,同样受到了这一局势的波及。中国芯片厂商一直渴望引进EUV光刻机以提升自身技术水平,但遗憾的是,由于美国的阻挠,ASML始终未能向中国出售EUV光刻机。目前,中国能够获得的,仅限于浸润式DUV光刻机,而即便是这种较为先进的光刻机,其销售也逐渐受到许可证制度的限制。
ASML的首席执行官Christophe Fouquet在近日的专访中坦言,由于美国的禁令,中国芯片制造技术相较于西方落后了10至15年。这一说法虽然听起来有些夸张,但仔细分析,却并非无的放矢。以中芯国际为例,早在2019年,中芯曾有意向购买ASML的EUV光刻机,并成功下单。然而,由于美国的干预,这笔交易最终未能成行。如果当时中芯能够顺利获得EUV光刻机,在梁孟松及其团队的共同努力下,中芯国际或许能够顺利进入3nm工艺时代,甚至与台积电一较高下。
然而,现实是残酷的。由于EUV光刻机的缺失,中芯国际在先进工艺方面的进展受到了严重阻碍。目前,中芯国际公开的最高工艺水平为14nm FinFET技术,而台积电则即将迈入2nm时代。这一差距,无疑让中国芯片产业感受到了巨大的压力。
EUV光刻机,已经成为阻碍中国芯片技术进步的一道难关。然而,面对困境,中国芯片产业并未选择退缩。相反,他们正在积极寻求突破,努力攻克浸润式DUV和EUV光刻机的核心技术。一旦成功掌握EUV光刻机技术,中国芯片产业将彻底摆脱美国的束缚,实现真正的自主可控。届时,中国芯片产业的实力将大幅提升,甚至有望在全球芯片市场中占据领先地位。